專(zhuān)家信息：

陳文元，男，1944年9月生，浙江慈溪人。現(xiàn)任上海交通大學(xué)微納科學(xué)技術(shù)研究院教授，博士生導(dǎo)師，曾擔(dān)任718慣導(dǎo)陀螺儀主設(shè)計(jì)師，PL-1小型平臺(tái)羅經(jīng)陀螺設(shè)計(jì)師。

教育及工作經(jīng)歷：

1968年畢業(yè)于上海交通大學(xué)。

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社會(huì)兼職：

1、上海市學(xué)位委員會(huì)“電子科學(xué)與技術(shù)”學(xué)位評(píng)議組成員。

教學(xué)情況：

主講課程：

講授微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）等課程。

培養(yǎng)學(xué)生情況：

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科學(xué)研究：

研究方向：

主要研究微光機(jī)電系統(tǒng)設(shè)計(jì)及其集成技術(shù)、MEMS傳感器及執(zhí)行器。

承擔(dān)的科研項(xiàng)目情況：

主持或參加科研項(xiàng)目多項(xiàng)。

科研成果：

1 非硅MEMS技術(shù)及其應(yīng)用研究 陳文元;丁桂甫;陳迪;陳佳品;戴旭涵;劉景全;張衛(wèi)平;汪紅;朱軍;李振波;吳校生;趙小林;楊春生 上海交通大學(xué) 2007

2 連續(xù)變焦超長(zhǎng)超高真空準(zhǔn)直、聚焦系統(tǒng)和水冷雙晶單色器 陳文元;張衛(wèi)平;高雪官;盛偉繁;閻永廉;柳暉 上海交通大學(xué) 2007

3 用于信息安全的MEMS強(qiáng)鏈 陳文元;高楊;趙小林;張衛(wèi)平;馮建智;丁桂甫;周狄;楊春生;陳佳品;張琛;吳校生;李勝勇;馮敏華;談順毅 上海交通大學(xué) 2005

4 用于北京同步輻射X光束線準(zhǔn)直、單色、聚焦系統(tǒng) 陳文元;盛偉繁;高雪官;劉鵬;張衛(wèi)平;謝亞寧;洗鼎昌;胡天斗;閻永廉 上海交通大學(xué) 2003

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發(fā)明專(zhuān)利：

1 電磁驅(qū)動(dòng)式撲翼微飛行器 張衛(wèi)平;孟坤;遲鵬程;陳文元;李洪誼;崔峰;吳校生;劉武 上海交通大學(xué) 2011-01-19

2 雙翼式仿昆飛行器 張衛(wèi)平;孟坤;遲鵬程;陳文元;李洪誼;崔峰;劉武;吳校生 上海交通大學(xué) 2011-01-19

3 線圈陣列的微型生物粒子操縱系統(tǒng) 張衛(wèi)平;王群;李世鵬;陳文元;劉武;崔峰;吳校生 上海交通大學(xué) 2011-02-16

4 壓電仿昆蟲(chóng)微撲翼飛行器 張衛(wèi)平;遲鵬程;陳文元;李洪誼;孟坤;劉武;吳校生;崔峰 上海交通大學(xué);中國(guó)科學(xué)院沈陽(yáng)自動(dòng)化研究所 2011-01-05

5 仿昆蟲(chóng)微型撲翼飛行器 張衛(wèi)平;遲鵬程;陳文元;李洪誼;孟坤;劉武;崔峰;吳校生 上海交通大學(xué);中國(guó)科學(xué)院沈陽(yáng)自動(dòng)化研究所 2011-01-19

6 基于永磁體的生物粒子三維操縱裝置 張衛(wèi)平;李世鵬;陳文元;劉武;胡牧風(fēng) 上海交通大學(xué) 2010-09-01

7 基于MEMS技術(shù)的抗磁粒子三維操縱裝置 張衛(wèi)平;李世鵬;陳文元;劉武;胡牧風(fēng) 上海交通大學(xué) 2010-09-15

8 基于線圈的生物粒子三維操縱裝置 張衛(wèi)平;李世鵬;陳文元;劉武;胡牧風(fēng) 上海交通大學(xué) 2010-10-06

9 基于壓電晶體頻率轉(zhuǎn)換機(jī)構(gòu)的微型發(fā)電裝置 張衛(wèi)平;秦奎;陳文元;吳校生;崔峰;劉武 上海交通大學(xué) 2010-01-06

10 復(fù)合密度和剛度的微機(jī)電固態(tài)陀螺儀 張衛(wèi)平;陳文元;吳校生;崔峰;劉武;盧奕鵬 上海交通大學(xué) 2009-12-30

11 驅(qū)動(dòng)鑒碼耦合一體化微小機(jī)電密碼鎖 張衛(wèi)平;秦奎;陳文元 上海交通大學(xué) 2010-02-10

12 靜電懸浮電暈驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)微陀螺 張衛(wèi)平;劉凱;陳文元;劉武;戴福彥;吳校生;崔峰 上海交通大學(xué) 2009-10-21

13 利用電磁和電荷弛豫工作的懸浮轉(zhuǎn)子微陀螺 張衛(wèi)平;劉凱;陳文元;崔峰;吳校生 上海交通大學(xué) 2009-10-21

14 利用電磁和電暈工作的懸浮轉(zhuǎn)子微陀螺 張衛(wèi)平;劉凱;陳文元;劉武;戴福彥;崔峰;吳校生 上海交通大學(xué) 2009-10-21

15 反磁懸浮和電暈驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)的微陀螺 張衛(wèi)平;劉凱;陳文元;劉武;戴福彥;吳校生;崔峰 上海交通大學(xué) 2009-10-21

16 反磁懸浮振動(dòng)微陀螺 張衛(wèi)平;戴福彥;陳文元;劉武;劉凱 上海交通大學(xué) 2009-07-08

17 硬磁懸浮振動(dòng)微陀螺 張衛(wèi)平;戴福彥;陳文元;劉凱 上海交通大學(xué) 2009-07-08

18 基于磁致伸縮與壓電效應(yīng)的無(wú)功耗加速度計(jì) 張衛(wèi)平;盧奕鵬;陳文元;蔡新午 上海交通大學(xué) 2009-07-08

19 帶有集中質(zhì)量塊的壓電式微固體模態(tài)陀螺 吳校生;陳文元 上海交通大學(xué) 2009-04-01

20 具有正方形表面長(zhǎng)方體壓電振子的全固態(tài)雙軸陀螺儀 張衛(wèi)平;盧奕鵬;陳文元;吳校生;崔峰 上海交通大學(xué) 2009-01-07

21 具有正方形通孔壓電振子的全固態(tài)雙軸陀螺儀 張衛(wèi)平;盧奕鵬;陳文元;吳校生;崔峰 上海交通大學(xué) 2009-01-07

22 具有長(zhǎng)方體振子的全固態(tài)雙軸磁致伸縮壓電陀螺儀 張衛(wèi)平;盧奕鵬;陳文元 上海交通大學(xué) 2009-01-07

23 具有“回”型槽結(jié)構(gòu)壓電振子的全固態(tài)雙軸陀螺儀 張衛(wèi)平;盧奕鵬;陳文元;吳校生;崔峰 上海交通大學(xué) 2009-01-07

24 具有“回”型柱狀體振子磁致伸縮壓電陀螺儀 張衛(wèi)平;盧奕鵬;陳文元 上海交通大學(xué) 2009-01-07

25 具有磁致伸縮振子的雙軸壓電檢測(cè)陀螺儀 張衛(wèi)平;盧奕鵬;陳文元 上海交通大學(xué) 2009-01-07

26 FPGA控制MEMS強(qiáng)鏈的移動(dòng)硬盤(pán)加密系統(tǒng) 陳文元;湯堅(jiān);張衛(wèi)平;許鵬;李怡斌 上海交通大學(xué) 2008-10-08

27 單片機(jī)控制MEMS強(qiáng)鏈的移動(dòng)硬盤(pán)加密系統(tǒng) 陳文元;湯堅(jiān);張衛(wèi)平;李怡斌;許鵬 上海交通大學(xué) 2008-10-08

28 基于MEMS強(qiáng)鏈和FPGA技術(shù)的移動(dòng)硬盤(pán)加密系統(tǒng) 陳文元;湯堅(jiān);張衛(wèi)平;李怡斌;許鵬 上海交通大學(xué) 2008-10-08

29 基于MEMS密碼鎖和雙FPGA的SATA硬盤(pán)物理加密系統(tǒng) 張衛(wèi)平;許鵬;陳文元;李怡斌;湯堅(jiān) 上海交通大學(xué) 2008-10-08

30 基于MEMS密碼鎖和雙FPGA的IDE硬盤(pán)物理加密系統(tǒng) 張衛(wèi)平;許鵬;陳文元;李怡斌;湯堅(jiān) 上海交通大學(xué) 2008-10-08

31 基于MEMS密碼鎖及FPGA的硬盤(pán)加密系統(tǒng) 張衛(wèi)平;李怡斌;陳文元;許鵬;湯堅(jiān) 上海交通大學(xué) 2008-10-08

32 基于MEMS強(qiáng)鏈的PCI接口硬盤(pán)加密系統(tǒng) 張衛(wèi)平;李怡斌;陳文元;湯堅(jiān);許鵬 上海交通大學(xué) 2008-10-08

33 微固體模態(tài)陀螺 吳校生;陳文元 上海交通大學(xué) 2008-09-10

34 圓形及多環(huán)形軸向充磁永磁反磁轉(zhuǎn)子電荷馳豫旋轉(zhuǎn)微陀螺 張衛(wèi)平;陳文元;劉武;張忠榕 上海交通大學(xué) 2008-07-09

35 圓形及多環(huán)形軸向充磁永磁反磁轉(zhuǎn)子感應(yīng)旋轉(zhuǎn)微陀螺 張衛(wèi)平;陳文元;劉武;張忠榕 上海交通大學(xué) 2008-07-09

36 圓形及多環(huán)形軸向充磁永磁反磁轉(zhuǎn)子靜電旋轉(zhuǎn)微陀螺 張衛(wèi)平;陳文元;劉武;張忠榕 上海交通大學(xué) 2008-07-09

37 圓形及多環(huán)形軸向徑向充磁反磁轉(zhuǎn)子電荷馳豫旋轉(zhuǎn)微陀螺 張衛(wèi)平;陳文元;劉武;張忠榕 上海交通大學(xué) 2008-07-09

38 圓形及多環(huán)形軸向徑向充磁永磁反磁轉(zhuǎn)子感應(yīng)旋轉(zhuǎn)微陀螺 張衛(wèi)平;陳文元;劉武;張忠榕 上海交通大學(xué) 2008-07-09

39 圓形及多環(huán)形軸向徑向充磁永磁反磁轉(zhuǎn)子靜電旋轉(zhuǎn)微陀螺 張衛(wèi)平;陳文元;劉武;張忠榕 上海交通大學(xué) 2008-07-09

40 圓形及多環(huán)形軸向充磁永磁反磁敏感質(zhì)量微加速度計(jì) 張衛(wèi)平;陳文元;劉武;張忠榕 上海交通大學(xué) 2008-07-09

41 圓形及多環(huán)形軸向徑向充磁永磁反磁敏感質(zhì)量微加速度計(jì) 張衛(wèi)平;陳文元;劉武;張忠榕 上海交通大學(xué) 2008-07-09

42 熱解石墨基片上微結(jié)構(gòu)的實(shí)現(xiàn)方法 張衛(wèi)平;陳文元;劉武;張忠榕 上海交通大學(xué) 2008-06-18

43 金屬電容式微加速度計(jì) 陳文元;李凱;吳校生;張衛(wèi)平;崔峰 上海交通大學(xué) 2007-12-19

44 雙模式反磁轉(zhuǎn)子感應(yīng)旋轉(zhuǎn)微陀螺 張衛(wèi)平;張忠榕;陳文元;劉武 上海交通大學(xué) 2007-11-14

45 雙模式反磁轉(zhuǎn)子靜電旋轉(zhuǎn)微陀螺 張衛(wèi)平;張忠榕;陳文元;劉武 上海交通大學(xué) 2008-01-23

46 雙模式反磁敏感質(zhì)量微加速度計(jì) 張衛(wèi)平;張忠榕;陳文元;劉武 上海交通大學(xué) 2008-01-23

47 撓性靜電補(bǔ)償式靜電加矩流體微陀螺儀 張衛(wèi)平;周海軍;陳文元;凌靈 上海交通大學(xué) 2007-10-17

48 撓性靜電補(bǔ)償式線圈加矩流體微陀螺儀 張衛(wèi)平;周海軍;陳文元;凌靈 上海交通大學(xué) 2007-10-17

49 撓性硬磁補(bǔ)償式靜電加矩流體微陀螺儀 張衛(wèi)平;周海軍;陳文元 上海交通大學(xué) 2007-10-17

50 撓性硬磁軟磁補(bǔ)償式靜電加矩流體微陀螺儀 張衛(wèi)平;周海軍;陳文元 上海交通大學(xué) 2007-10-17

51 撓性硬磁補(bǔ)償式線圈加矩流體微陀螺儀 張衛(wèi)平;周海軍;陳文元 上海交通大學(xué) 2007-10-17

52 流體與旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)一體化撓性靜電補(bǔ)償式靜電加矩微陀螺 張衛(wèi)平;陳文元;周海軍 上海交通大學(xué) 2007-10-17

53 流體與旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)撓性硬磁軟磁補(bǔ)償式靜電加矩微陀螺儀 張衛(wèi)平;陳文元;周海軍 上海交通大學(xué) 2007-10-17

54 流體與旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)一體化撓性靜電補(bǔ)償式線圈加矩微陀螺儀 張衛(wèi)平;陳文元;周海軍 上海交通大學(xué) 2007-10-17

55 流體與旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)撓性硬磁軟磁補(bǔ)償式線圈加矩微陀螺儀 張衛(wèi)平;陳文元;周海軍 上海交通大學(xué) 2007-10-17

56 撓性硬磁軟磁補(bǔ)償式線圈加矩流體微陀螺儀 張衛(wèi)平;周海軍;陳文元 上海交通大學(xué) 2007-10-24

57 流體與旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)一體化撓性硬磁補(bǔ)償式靜電加矩微陀螺儀 張衛(wèi)平;陳文元;周海軍 上海交通大學(xué) 2007-10-24

58 流體與旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)一體化撓性硬磁補(bǔ)償式線圈加矩微陀螺儀 張衛(wèi)平;陳文元;周海軍 上海交通大學(xué) 2007-10-24

59 定子內(nèi)嵌式電磁懸浮微系統(tǒng) 吳校生;陳文元 上海交通大學(xué) 2007-09-26

60 反磁懸浮轉(zhuǎn)子靜電驅(qū)動(dòng)微型陀螺儀 張衛(wèi)平;張忠榕;陳文元;劉武 上海交通大學(xué) 2007-08-22

61 反磁轉(zhuǎn)子電磁感應(yīng)驅(qū)動(dòng)微型陀螺儀 張衛(wèi)平;張忠榕;陳文元;劉武 上海交通大學(xué) 2007-08-22

62 懸浮式反磁敏感質(zhì)量微型加速度計(jì) 張衛(wèi)平;張忠榕;陳文元;劉武 上海交通大學(xué) 2007-08-22

63 內(nèi)穩(wěn)電磁懸浮環(huán)形轉(zhuǎn)子微轉(zhuǎn)動(dòng)陀螺 吳校生;陳文元;趙小林 上海交通大學(xué) 2007-08-15

64 定子內(nèi)嵌式電磁懸浮轉(zhuǎn)子微馬達(dá) 吳校生;陳文元;趙小林 上海交通大學(xué) 2007-08-29

65 內(nèi)嵌鎳絲雙菱型結(jié)構(gòu)加熱式驅(qū)動(dòng)SU-8基體微鉗 張衛(wèi)平;張忠榕;陳文元 上海交通大學(xué) 2007-03-21

66 雙定子靜電穩(wěn)定電磁懸浮微轉(zhuǎn)動(dòng)陀螺 吳校生;陳文元 上海交通大學(xué) 2007-02-28

67 用于直線推進(jìn)的多弧結(jié)構(gòu)的改性SU8電熱微執(zhí)行器 張衛(wèi)平;陳實(shí);陳文元 上海交通大學(xué) 2007-03-07

68 撓性立柱蹺板式雙層結(jié)構(gòu)微加速度計(jì) 張衛(wèi)平;萬(wàn)明亮;陳文元 上海交通大學(xué) 2007-01-03

69 靜電支撐懸浮電磁感應(yīng)旋轉(zhuǎn)微陀螺 張衛(wèi)平;周海軍;陳文元 上海交通大學(xué) 2006-12-13

70 主動(dòng)懸浮永磁環(huán)形轉(zhuǎn)子異步感應(yīng)微機(jī)械陀螺陀螺儀 張衛(wèi)平;陳文元;劉武;段永瑞 上海交通大學(xué) 2006-11-08

71 基于輪腿式復(fù)合機(jī)構(gòu)的微小型步行機(jī)器人 陳文元;曹雯;張衛(wèi)平;彭松林;左德參 上海交通大學(xué) 2006-09-27

72 抗磁性懸浮永磁轉(zhuǎn)子微加速度計(jì) 陳文元;劉武;張衛(wèi)平 上海交通大學(xué) 2006-09-13

73 基于MEMS密碼鎖的硬盤(pán)加密系統(tǒng) 陳文元;馮敏華;談順毅;張衛(wèi)平;李勝勇 上海交通大學(xué) 2006-09-27

74 雙定子電磁懸浮轉(zhuǎn)子微轉(zhuǎn)動(dòng)陀螺 陳文元;吳校生;趙小林;張衛(wèi)平 上海交通大學(xué) 2006-08-16

75 電容式微流體角加速度計(jì) 吳校生;陳文元;趙小林;張衛(wèi)平 上海交通大學(xué) 2006-08-16

76 獨(dú)****密碼集生成方法 陳文元;談順毅;張衛(wèi)平;李勝勇;馮敏華 上海交通大學(xué) 2006-08-16

77 電磁懸浮靜電驅(qū)動(dòng)微轉(zhuǎn)動(dòng)陀螺 吳校生;陳文元;趙小林;張衛(wèi)平 上海交通大學(xué) 2006-07-19

78 具有自動(dòng)復(fù)位系統(tǒng)的逐位鑒別可多次試開(kāi)的MEMS強(qiáng)鏈 陳文元;李勝勇;張衛(wèi)平;馮敏華;談順毅 上海交通大學(xué) 2006-08-30

79 磁場(chǎng)可控介磁穩(wěn)定懸浮轉(zhuǎn)子微陀螺 張衛(wèi)平;陳文元;劉武;趙小林 上海交通大學(xué) 2006-05-24

80 永磁介磁組合懸浮轉(zhuǎn)子微陀螺 張衛(wèi)平;陳文元;劉武;趙小林 上海交通大學(xué) 2006-05-24

81 磁電式循環(huán)混合器 陳文元;賈曉宇;牛志強(qiáng);張衛(wèi)平 上海交通大學(xué) 2006-04-26

82 陣列式多腔壓電驅(qū)動(dòng)微混合器 陳文元;賈曉宇;牛志強(qiáng);張衛(wèi)平 上海交通大學(xué) 2006-04-26

83 壓電驅(qū)式微混合芯片 陳文元;賈曉宇;張衛(wèi)平;牛志強(qiáng) 上海交通大學(xué) 2008-05-28

84 壓電驅(qū)式微混合芯片 陳文元;賈曉宇;張衛(wèi)平;牛志強(qiáng) 上海交通大學(xué) 2006-02-22

85 高溫超導(dǎo)穩(wěn)懸永磁轉(zhuǎn)子微陀螺 張衛(wèi)平;陳文元;段永瑞 上海交通大學(xué) 2005-12-28

86 電磁驅(qū)動(dòng)動(dòng)力調(diào)諧撓性轉(zhuǎn)子微陀螺 張衛(wèi)平;陳文元;趙小林;段永瑞 上海交通大學(xué) 2005-12-28

87 軟磁吸懸高速旋轉(zhuǎn)剛體微陀螺 張衛(wèi)平;陳文元;趙小林;段永瑞 上海交通大學(xué) 2005-12-21

88 基于微機(jī)電系統(tǒng)信息安全強(qiáng)鏈的電腦鎖 陳文元;李勝勇;張衛(wèi)平 上海交通大學(xué) 2005-12-21

89 聚合酶鏈反應(yīng)生物芯片溫度控制方法 陳文元;邵詩(shī)逸;牛志強(qiáng);張衛(wèi)平 上海交通大學(xué) 2005-12-21

90 單片氣動(dòng)凝膠微閥 陳文元;牛志強(qiáng);賈曉宇;張衛(wèi)平 上海交通大學(xué) 2005-10-26

91 單片氣動(dòng)凝膠微閥的制造方法 陳文元;牛志強(qiáng);張衛(wèi)平;賈曉宇 上海交通大學(xué) 2005-11-09

92 基于雙氧水分解的微氧氣泵 陳文元;牛志強(qiáng);邵詩(shī)逸;張衛(wèi)平 上海交通大學(xué) 2006-01-04

93 基于雙氧水分解的微氧氣泵制造方法 陳文元;牛志強(qiáng);邵詩(shī)逸;張衛(wèi)平 上海交通大學(xué) 2006-01-04

94 MEMS計(jì)算機(jī)安全開(kāi)啟裝置 陳文元;李勝勇;張衛(wèi)平 上海交通大學(xué) 2005-10-26

95 濺射TiO2使聚合物微流芯片表面改性的方法 陳文元;牛志強(qiáng);張衛(wèi)平;賈曉宇 上海交通大學(xué) 2005-08-24

96 基于聚二甲基硅氧烷的微型生物試劑分析檢測(cè)芯片 陳文元;賈曉宇;牛志強(qiáng);張衛(wèi)平 上海交通大學(xué) 2005-07-27

97 用于堆積微加工技術(shù)的電機(jī)定子繞組布線方法 張衛(wèi)平;陳文元;趙小林;段永瑞 上海交通大學(xué) 2005-06-01

98 微機(jī)械信息安全網(wǎng)絡(luò)認(rèn)證系統(tǒng) 陳文元;李勝勇;張衛(wèi)平;趙小林 上海交通大學(xué) 2005-03-02

99 一體化微加工多層復(fù)雜結(jié)構(gòu)的方法 陳文元;姜勇;趙小林;丁桂甫;張衛(wèi)平 上海交通大學(xué) 2005-02-23

100 螺旋式微通道聚合酶鏈?zhǔn)椒磻?yīng)芯片 陳文元;賈曉宇;牛志強(qiáng);張衛(wèi)平 上海交通大學(xué) 2005-02-23

101 靜電懸浮轉(zhuǎn)子微慣性傳感器及其制造方法 陳文元;崔峰;趙小林;張衛(wèi)平 上海交通大學(xué) 2005-02-16

102 利用靜電和電荷馳豫工作的懸浮轉(zhuǎn)子MEMS微陀螺 張衛(wèi)平;陳文元;趙小林;段永瑞;崔峰 上海交通大學(xué) 2005-01-26

103 基于微機(jī)電系統(tǒng)的單向步進(jìn)反向自鎖的電磁驅(qū)動(dòng)器 張衛(wèi)平;陳文元;趙小林;周狄;張琛;段永瑞 上海交通大學(xué) 2004-12-29

104 用于重要系統(tǒng)安全保證的密碼機(jī)械固化方法 張衛(wèi)平;陳文元;趙小林;段永瑞 上海交通大學(xué) 2004-12-22

105 磁懸浮轉(zhuǎn)子方位微陀螺 陳文元;吳校生;趙小林;張衛(wèi)平 上海交通大學(xué) 2004-02-25

106 同步輻射空間姿態(tài)可調(diào)連續(xù)變焦超長(zhǎng)準(zhǔn)直和聚焦系統(tǒng) 張衛(wèi)平;陳文元;盛偉繁;閻永廉;王俊杰 上海交通大學(xué) 2004-02-04

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論文專(zhuān)著：

在國(guó)內(nèi)外發(fā)表論文100余篇。

出版專(zhuān)著：

1、《微執(zhí)行器》 上海交通大學(xué)出版社 2005

2、《MEMS強(qiáng)鏈及其應(yīng)用》 科學(xué)出版社 2007

3、《集成微流控聚合物PCR芯片》 上海交通大學(xué)出版社 2009

4、《微型撲翼式仿生飛行器》 上海交通大學(xué)出版社 2010

發(fā)表論文：

1 抗磁懸浮的原理、特點(diǎn)和應(yīng)用 李世鵬; 張衛(wèi)平; 陳文元; 劉武; 成宇翔 上海交通大學(xué)微納科學(xué)技術(shù)研究院薄膜與微細(xì)技術(shù)教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室微米/納米加工技術(shù)國(guó)家級(jí)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室 【期刊】磁性材料及器件 2011-02-15

2 磁卡機(jī)用直流伺服電機(jī)的研究 陳文元; 陳鐵年; 丁濤 上海交通大學(xué)信息存儲(chǔ)研究中心 【期刊】電子計(jì)算機(jī)外部設(shè)備 1994-09-15

3 磁卡機(jī)系統(tǒng)直流電機(jī)在啟動(dòng)與運(yùn)行狀態(tài)下的動(dòng)態(tài)特性研究 陳文元; 呂宣斌; 丁濤 上海交通大學(xué)信息存儲(chǔ)研究中心 【期刊】電子計(jì)算機(jī)外部設(shè)備 1995-11-15

4 磁卡機(jī)系統(tǒng)直流電機(jī)制動(dòng)階段動(dòng)態(tài)特性研究 陳文元; 丁濤 上海交通大學(xué)信息存儲(chǔ)研究中心 【期刊】電子計(jì)算機(jī)外部設(shè)備 1996-11-15

5 用于φ2mm電磁型微馬達(dá)的微3K-2型行星齒輪減速器的研究 陳文元; 丁濤; 李世峰; 姚景元 上海交通大學(xué)信息存儲(chǔ)研究中心; 上海交通大學(xué)信息存儲(chǔ)研究中心 【期刊】微細(xì)加工技術(shù) 1997-12-30

6 微細(xì)EDM技術(shù)加工微齒輪的研究 陳文元; 丁濤; 張衛(wèi)平; 姚錦元 上海交通大學(xué)信息存儲(chǔ)研究中心 【期刊】微細(xì)加工技術(shù) 1998-06-30

7 旋轉(zhuǎn)軸的磁流體密封技術(shù) 施文康; 陳文元 上海交通大學(xué); 上海交通大學(xué) 【期刊】磨床與磨削 1989-02-15

8 基于DSP的靜電懸浮轉(zhuǎn)子微陀螺多自由度控制系統(tǒng)設(shè)計(jì) 肖奇軍; 陳文元; 崔峰; 李勝勇; 張衛(wèi)平; 肖奇軍 上海交通大學(xué)微納科學(xué)技術(shù)研究院; 廣東肇慶學(xué)院電子信息工程系 【期刊】伺服控制 2008-12-15

9 一種新型玻璃基底可用于微陀螺的反磁懸浮結(jié)構(gòu)的設(shè)計(jì)與制造 戴福彥; 劉武; 張衛(wèi)平; 陳文元; 劉凱; 張忠榕 上海交通大學(xué)微納米科學(xué)技術(shù)研究院; 微米/納米加工技術(shù)國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室 【期刊】傳感技術(shù)學(xué)報(bào) 2010-01-20

10 靜電懸浮微陀螺的壓膜阻尼特性 應(yīng)法明; 肖奇軍; 崔峰; 陳文元; 張衛(wèi)平 上海交通大學(xué)微納科學(xué)技術(shù)研究院薄膜與微細(xì)技術(shù)教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室微米/納米加工技術(shù)國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室 【期刊】中國(guó)慣性技術(shù)學(xué)報(bào) 2010-04-15

11 MEMS流體陀螺的研究進(jìn)展 秦奎; 張衛(wèi)平; 陳文元 上海交通大學(xué)微納科學(xué)技術(shù)研究院微米/納米加工技術(shù)國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室薄膜與微細(xì)技術(shù)教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室 【期刊】現(xiàn)代電子技術(shù) 2010-05-15

12 基于科氏加速度的微陀螺 劉凱; 張衛(wèi)平; 陳文元; 李凱; 肖奇軍; 馬高印 上海交通大學(xué)微納科學(xué)技術(shù)研究院薄膜與微細(xì)加工教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室微米/納米加工國(guó)防實(shí)驗(yàn)室 【期刊】壓電與聲光 2010-06-15

13 靜電懸浮微陀螺多路同步DDS信號(hào)發(fā)生器設(shè)計(jì) 覃貞妮; 劉武; 陳文元; 崔峰; 張衛(wèi)平 上海交通大學(xué)微納科學(xué)技術(shù)研究院微米/納米加工技術(shù)國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室; 上海交通大學(xué)微納科學(xué)技術(shù)研究院薄膜與微細(xì)技術(shù)教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室 【期刊】現(xiàn)代電子技術(shù) 2010-09-15

14 壓電型微固體模態(tài)陀螺的相位差檢測(cè) 何程鵠; 吳校生; 陳文元; 張衛(wèi)平 上海交通大學(xué)微納科學(xué)技術(shù)研究院; 微米/納米加工技術(shù)國(guó)家級(jí)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室; 薄膜與微細(xì)技術(shù)教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室 【期刊】傳感技術(shù)學(xué)報(bào) 2010-07-20

15 基于DSP的靜電懸浮微陀螺模擬伺服系統(tǒng)的研究 應(yīng)法明; 肖奇軍; 崔峰; 陳文元; 張衛(wèi)平; 劉武 上海交通大學(xué)微納科學(xué)技術(shù)研究院; 廣東肇慶學(xué)院電子信息與機(jī)電工程學(xué)院 【期刊】測(cè)控技術(shù) 2010-10-18

16 基于混合EMD方法的加速度計(jì)信號(hào)處理 錢(qián)莉; 徐國(guó)平; 陳文元; 楊寧 上海工程技術(shù)大學(xué)機(jī)械工程學(xué)院; 上�？ㄋ箍滦盘�(hào)有限公司; 上海交通大學(xué)微納科學(xué)研究院; 上海電力學(xué)院電力與自動(dòng)化工程學(xué)院 【期刊】傳感技術(shù)學(xué)報(bào) 2010-11-20

17 基于虛擬儀器的壓電陀螺掃頻信號(hào)系統(tǒng)設(shè)計(jì) 王立奇; 陳文元; 盧弈鵬; 馬高印; 吳校生 上海交通大學(xué)微納科學(xué)技術(shù)研究院微米納米加工國(guó)家級(jí)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室 【期刊】傳感器與微系統(tǒng) 2010-07-20

18 靜電懸浮轉(zhuǎn)子微陀螺宏模型的提取和分析 肖奇軍; 崔峰; 陳文元; 李勝勇; 張衛(wèi)平 上海交通大學(xué)微納科學(xué)技術(shù)研究院; 廣東肇慶學(xué)院電子信息工程系 【期刊】壓電與聲光 2009-02-15

19 基于DSP的靜電懸浮轉(zhuǎn)子微陀螺測(cè)控系統(tǒng) 劉凱; 張衛(wèi)平; 陳文元; 周海軍; 肖奇軍; 馬高印; 李凱 上海交通大學(xué)微納科學(xué)技術(shù)研究院薄膜與微細(xì)加工教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室微米/納米加工國(guó)防實(shí)驗(yàn)室 【期刊】傳感技術(shù)學(xué)報(bào) 2009-02-20

20 FPGA控制MEMS強(qiáng)鏈的移動(dòng)硬盤(pán)加密設(shè)計(jì) 湯堅(jiān); 陳文元; 張衛(wèi)平; 許鵬; 李怡斌 上海交通大學(xué)微納科學(xué)技術(shù)研究院 【期刊】計(jì)算機(jī)工程與應(yīng)用 2009-04-01

21 內(nèi)嵌永磁體陣列的柔性振動(dòng)膜微型電磁驅(qū)動(dòng)器的設(shè)計(jì)與制作工藝 蘇宇鋒; 段智勇; 鄭鵬; 劉武發(fā); 陳文元 鄭州大學(xué); 上海交通大學(xué)微納科學(xué)技術(shù)研究院 【期刊】?jī)x表技術(shù)與傳感器 2009-04-15

22 基于MEMS加速度計(jì)的輸入系統(tǒng)的研究 錢(qián)莉; 陳文元 上海交通大學(xué)微納科學(xué)技術(shù)研究院薄膜與微細(xì)技術(shù)教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室微米/納米加工技術(shù)國(guó)家級(jí)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室 【期刊】傳感技術(shù)學(xué)報(bào) 2009-05-20

23 基于MEMS強(qiáng)鏈和FPGA的物理認(rèn)證系統(tǒng) 許鵬; 張衛(wèi)平; 陳文元; 李怡斌; 湯堅(jiān) 上海交通大學(xué)微納科學(xué)技術(shù)研究院薄膜與微細(xì)技術(shù)教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室微米/納米加工技術(shù)國(guó)家級(jí)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室 【期刊】微計(jì)算機(jī)信息 2009-05-15

24 靜電懸浮轉(zhuǎn)子微陀螺微位移信號(hào)檢測(cè)系統(tǒng)的設(shè)計(jì) 肖奇軍; 陳文元; 崔峰; 李勝勇; 黃曉剛; 邵珰珰 上海交通大學(xué)微納科學(xué)技術(shù)研究院; 廣東肇慶學(xué)院電子信息工程系 【期刊】機(jī)電工程技術(shù) 2009-05-15

25 MEMS強(qiáng)鏈在硬盤(pán)加密系統(tǒng)中的應(yīng)用研究 李怡斌; 張衛(wèi)平; 陳文元; 許鵬; 湯堅(jiān) 上海交通大學(xué)微納科學(xué)技術(shù)研究院 【期刊】計(jì)算機(jī)工程與設(shè)計(jì) 2009-06-16

26 MEMS微電機(jī)綜述 戴福彥; 張衛(wèi)平; 陳文元; 劉凱; 馬高印; 肖奇軍; 張忠榕 上海交通大學(xué)微納米科學(xué)技術(shù)研究院 【期刊】微電機(jī) 2009-08-28

27 基于MEMS強(qiáng)鏈和雙FPGA的硬盤(pán)加密系統(tǒng) 許鵬; 張衛(wèi)平; 陳文元; 李怡斌; 湯堅(jiān) 上海交通大學(xué)微納科學(xué)技術(shù)研究院薄膜與微細(xì)技術(shù)教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室微米/納米加工技術(shù)國(guó)家級(jí)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室 【期刊】計(jì)算機(jī)工程與設(shè)計(jì) 2009-08-28

28 基于ARM平臺(tái)的MEMS輸入設(shè)備的固件設(shè)計(jì) 錢(qián)莉; 張衛(wèi)平; 陳文元; 湯堅(jiān) 上海交通大學(xué)微納科學(xué)技術(shù)研究院薄膜與微細(xì)技術(shù)教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室微米/納米加工技術(shù)國(guó)家級(jí)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室 【期刊】微計(jì)算機(jī)信息 2009-08-23

29 靜電懸浮轉(zhuǎn)子微陀螺微位移數(shù)字化電容檢測(cè)通道設(shè)計(jì) 馬高印; 陳文元; 張衛(wèi)平; 崔鋒; 王立奇 上海交通大學(xué)微納科學(xué)技術(shù)研究院; 中國(guó)航天科技集團(tuán)第九研究院13所 【期刊】中國(guó)慣性技術(shù)學(xué)報(bào) 2009-12-15

30 基于FPGA驅(qū)動(dòng)微陀螺旋轉(zhuǎn)的移相電路 李世鵬; 張衛(wèi)平; 劉凱; 劉武; 陳文元 上海交通大學(xué)微納科學(xué)技術(shù)研究院; 薄膜與微細(xì)技術(shù)教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室; 微米/納米加工技術(shù)國(guó)家級(jí)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室 【期刊】中國(guó)慣性技術(shù)學(xué)報(bào) 2009-12-15

31 輪腿式微型機(jī)器人系統(tǒng)研究 曹雯; 張衛(wèi)平; 陳文元; 彭松林 上海交通大學(xué)微納科學(xué)技術(shù)研究院 【期刊】傳感器與微系統(tǒng) 2009-08-20

32 基于ARM和FPGA的微加速度計(jì)數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)設(shè)計(jì) 秦奎; 張衛(wèi)平; 陳文元 上海交通大學(xué)微納科學(xué)技術(shù)研究院微米/納米加工技術(shù)國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室; 上海交通大學(xué)微納科學(xué)技術(shù)研究院薄膜與微細(xì)技術(shù)教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室 【期刊】現(xiàn)代電子技術(shù) 2010-01-15

33 磁懸浮轉(zhuǎn)子微陀螺電容結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì) 黃曉剛; 劉武; 邵詩(shī)逸; 陳文元; 張衛(wèi)平 上海交通大學(xué)微納科學(xué)技術(shù)研究院微米/納米加工技術(shù)國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室薄膜與微細(xì)技術(shù)教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室; 上海交通大學(xué)微納科學(xué)技術(shù)研究院微米/納米加工技術(shù)國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室薄膜與微細(xì)技術(shù)教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室; 上海交通大學(xué)微納科學(xué)技術(shù)研究院微米/納米加工技術(shù)國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室薄膜與微細(xì)技術(shù)教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室 上海 【期刊】傳感器與微系統(tǒng) 2006-01-20

34 基于微加速度傳感器的無(wú)線鼠標(biāo)的設(shè)計(jì) 黃得志; 陳文元; 楊華鋒; 錢(qián)莉; 張衛(wèi)平 上海交通大學(xué)微納科學(xué)技術(shù)研究院薄膜與微細(xì)技術(shù)教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室微米/納米加工技術(shù)國(guó)家級(jí)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室; 上海交通大學(xué)微納科學(xué)技術(shù)研究院薄膜與微細(xì)技術(shù)教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室微米/納米加工技術(shù)國(guó)家級(jí)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室; 上海交通大學(xué)微納科學(xué)技術(shù)研究院薄膜與微細(xì)技術(shù)教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室微米/納米加工技術(shù)國(guó)家級(jí)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室 上海 【期刊】傳感器與微系統(tǒng) 2006-01-20

35 磁懸浮轉(zhuǎn)子微陀螺旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)方式研究 邵詩(shī)逸; 黃曉剛; 劉武; 陳文元 上海交通大學(xué)微納科學(xué)技術(shù)研究院薄膜與微細(xì)加工教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室微納米加工國(guó)防實(shí)驗(yàn)室; 上海交通大學(xué)微納科學(xué)技術(shù)研究院薄膜與微細(xì)加工教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室微納米加工國(guó)防實(shí)驗(yàn)室; 上海交通大學(xué)微納科學(xué)技術(shù)研究院薄膜與微細(xì)加工教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室微納米加工國(guó)防實(shí)驗(yàn)室 上海 【期刊】微電子學(xué) 2006-02-20

36 磁懸浮轉(zhuǎn)子微陀螺旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)電路設(shè)計(jì) 邵詩(shī)逸; 黃曉剛; 劉武; 陳文元 上海交通大學(xué)微納科學(xué)技術(shù)研究院薄膜與微細(xì)加工教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室微納米加工國(guó)防實(shí)驗(yàn)室; 上海交通大學(xué)微納科學(xué)技術(shù)研究院薄膜與微細(xì)加工教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室微納米加工國(guó)防實(shí)驗(yàn)室; 上海交通大學(xué)微納科學(xué)技術(shù)研究院薄膜與微細(xì)加工教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室微納米加工國(guó)防實(shí)驗(yàn)室 上海 【期刊】傳感器與微系統(tǒng) 2006-02-20

37 磁懸浮轉(zhuǎn)子微陀螺的電容檢測(cè)系統(tǒng)分析和實(shí)現(xiàn) 劉武; 黃曉剛; 邵詩(shī)逸; 陳文元; 張衛(wèi)平 上海交通大學(xué)微納科學(xué)技術(shù)研究院薄模與微細(xì)加工教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室微納米加工國(guó)防實(shí)驗(yàn)室; 上海交通大學(xué)微納科學(xué)技術(shù)研究院薄模與微細(xì)加工教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室微納米加工國(guó)防實(shí)驗(yàn)室; 上海交通大學(xué)微納科學(xué)技術(shù)研究院薄模與微細(xì)加工教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室微納米加工國(guó)防實(shí)驗(yàn)室 上海 【期刊】測(cè)控技術(shù) 2006-01-18

38 磁懸浮轉(zhuǎn)子微陀螺虛擬儀器測(cè)試系統(tǒng) 黃曉剛; 劉武; 陳文元; 張衛(wèi)平; 吳校生 上海交通大學(xué)微納科學(xué)技術(shù)研究院 薄膜與微細(xì)技術(shù)教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室微米/納米加工技術(shù)國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室; 上海交通大學(xué)微納科學(xué)技術(shù)研究院; 薄膜與微細(xì)技術(shù)教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室微米/納米加工技術(shù)國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室 【期刊】電測(cè)與儀表 2006-05-25

39 反干涉齒輪集微機(jī)電系統(tǒng)密碼鎖鑒碼問(wèn)題 張衛(wèi)平; 陳文元; 趙小林; 李勝勇; 吳校生; 馮敏華; 談順毅 上海交通大學(xué)微納科學(xué)技術(shù)研究院微米/納米加工技術(shù)國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室薄膜與微細(xì)技術(shù)教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室; 上海交通大學(xué)微納科學(xué)技術(shù)研究院微米/納米加工技術(shù)國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室薄膜與微細(xì)技術(shù)教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室; 上海交通大學(xué)微納科學(xué)技術(shù)研究院微米/納米加工技術(shù)國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室薄膜與微細(xì)技術(shù)教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室 上海 【期刊】上海交通大學(xué)學(xué)報(bào) 2006-07-28

40 微密碼鎖電腦安全認(rèn)證的軟件系統(tǒng) 談順毅; 陳文元; 張衛(wèi)平; 李勝勇; 馮敏華 上海交通大學(xué)微納科學(xué)技術(shù)研究院; 上海交通大學(xué)微納科學(xué)技術(shù)研究院; 上海交通大學(xué)微納科學(xué)技術(shù)研究院 上海 【期刊】計(jì)算機(jī)工程與應(yīng)用 2006-10-11

41 用于微流控芯片的PDMS微混合器工藝和數(shù)值分析 陳實(shí); 張衛(wèi)平; 陳文元; 牛志強(qiáng) 上海交通大學(xué)微納科學(xué)技術(shù)研究院微米/納米加工技術(shù)國(guó)家級(jí)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室; 上海交通大學(xué)微納科學(xué)技術(shù)研究院微米/納米加工技術(shù)國(guó)家級(jí)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室; 上海交通大學(xué)微納科學(xué)技術(shù)研究院微米/納米加工技術(shù)國(guó)家級(jí)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室 上海 【期刊】微細(xì)加工技術(shù) 2006-12-15

42 基于加速度采集系統(tǒng)的無(wú)線輸入設(shè)備的研究 黃得志; 陳文元; 楊華峰; 錢(qián)莉; 張衛(wèi)平 上海交通大學(xué)微納科學(xué)技術(shù)研究院薄膜與微細(xì)技術(shù)教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室微米/納米加工技術(shù)國(guó)家級(jí)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室; 上海交通大學(xué)微納科學(xué)技術(shù)研究院薄膜與微細(xì)技術(shù)教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室微米/納米加工技術(shù)國(guó)家級(jí)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室; 上海交通大學(xué)微納科學(xué)技術(shù)研究院薄膜與微細(xì)技術(shù)教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室微米/納米加工技術(shù)國(guó)家級(jí)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室 上海 【期刊】計(jì)算機(jī)應(yīng)用研究 2007-02-01

43 撲翼微飛行器飛行時(shí)的數(shù)值模擬與分析(英文) 左德參; 彭松林; 張衛(wèi)平; 陳文元 上海交通大學(xué)微納科學(xué)技術(shù)研究院微米/納米加工技術(shù)國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室薄膜與微細(xì)技術(shù)教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室; 上海交通大學(xué)微納科學(xué)技術(shù)研究院微米/納米加工技術(shù)國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室薄膜與微細(xì)技術(shù)教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室; 上海交通大學(xué)微納科學(xué)技術(shù)研究院微米/納米加工技術(shù)國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室薄膜與微細(xì)技術(shù)教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室 上海 【期刊】空氣動(dòng)力學(xué)學(xué)報(bào) 2007-03-30

44 電磁驅(qū)動(dòng)型MEMS安全保險(xiǎn)裝置關(guān)鍵技術(shù)研究 馮敏華; 陳文元; 張衛(wèi)平; 談順毅; 李勝勇 上海交通大學(xué)微納科學(xué)技術(shù)研究院; 上海交通大學(xué)微納科學(xué)技術(shù)研究院; 上海交通大學(xué)微納科學(xué)技術(shù)研究院 上海 【期刊】新技術(shù)新工藝 2007-01-25

45 曲柄搖桿撲翼機(jī)構(gòu)的聯(lián)合仿真及優(yōu)化設(shè)計(jì) 彭松林; 左德參; 張衛(wèi)平; 陳文元 上海交通大學(xué)微納科學(xué)技術(shù)研究院 微米/納米加工技術(shù)國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室; 薄膜與微細(xì)技術(shù)教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室; 上海交通大學(xué)微納科學(xué)技術(shù)研究院; 微米/納米加工技術(shù)國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室 【期刊】系統(tǒng)仿真學(xué)報(bào) 2007-04-20

46 SU-8膠模去除技術(shù) 崔峰; 靖向萌; 趙小林; 丁桂甫; 張衛(wèi)平; 陳文元 上海交通大學(xué)微納科學(xué)技術(shù)研究院微米/納米加工技術(shù)國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室薄膜與微細(xì)加工技術(shù)教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室; 上海交通大學(xué)微納科學(xué)技術(shù)研究院微米/納米加工技術(shù)國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室薄膜與微細(xì)加工技術(shù)教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室; 上海交通大學(xué)微納科學(xué)技術(shù)研究院微米/納米加工技術(shù)國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室薄膜與微細(xì)加工技術(shù)教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室 上海 【期刊】微細(xì)加工技術(shù) 2007-02-15

47 一種新穎的同步輻射單色器鏡箱調(diào)節(jié)裝置——點(diǎn)槽面機(jī)構(gòu) 柳暉; 高雪官; 曹沖振; 陳文元; 劉鵬; 謝亞寧; 劉濤; 桑園 上海師范大學(xué)機(jī)械與電子信息工程學(xué)院; 上海交通大學(xué)機(jī)械與動(dòng)力工程學(xué)院; 上海交通大學(xué)微納米研究院; 中國(guó)科學(xué)院高能物理研究所同步輻射室; 上海師范大學(xué)外國(guó)語(yǔ)學(xué)院 上海 【期刊】紅外 2007-07-10

48 角加速度計(jì)發(fā)展綜述 吳校生; 陳文元 上海交通大學(xué) 微米/納米加工技術(shù)國(guó)家級(jí)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室; 上海交通大學(xué); 微米/納米加工技術(shù)國(guó)家級(jí)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室 【期刊】中國(guó)慣性技術(shù)學(xué)報(bào) 2007-08-15

49 靜電懸浮轉(zhuǎn)子微陀螺再平衡回路設(shè)計(jì) 肖奇軍; 陳文元; 崔峰; 李勝勇; 張衛(wèi)平 上海交通大學(xué)微納科學(xué)技術(shù)研究院; 上海交通大學(xué)微納科學(xué)技術(shù)研究院; 上海交通大學(xué)微納科學(xué)技術(shù)研究院 上海; 廣東肇慶學(xué)院電子信息工程系; 廣東肇慶 【期刊】中國(guó)慣性技術(shù)學(xué)報(bào) 2007-10-15

50 基于MEMS技術(shù)的無(wú)線USB鼠標(biāo)研究 楊華峰; 陳文元; 黃得志; 張衛(wèi)平; 吳校生 上海交通大學(xué)微納科學(xué)技術(shù)研究院微米/納米加工技術(shù)國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室薄膜與微細(xì)技術(shù)教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室; 上海交通大學(xué)微納科學(xué)技術(shù)研究院微米/納米加工技術(shù)國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室薄膜與微細(xì)技術(shù)教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室; 上海交通大學(xué)微納科學(xué)技術(shù)研究院微米/納米加工技術(shù)國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室薄膜與微細(xì)技術(shù)教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室 上海 【期刊】微處理機(jī) 2007-10-15

51 PCR溫度控制技術(shù)的研究進(jìn)展 陳實(shí); 張衛(wèi)平; 陳文元; 邵詩(shī)逸; 牛志強(qiáng) 上海交通大學(xué)微納科學(xué)技術(shù)研究院微米/納米加工技術(shù)國(guó)家級(jí)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室薄膜與微細(xì)技術(shù)教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室; 上海交通大學(xué)微納科學(xué)技術(shù)研究院微米/納米加工技術(shù)國(guó)家級(jí)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室薄膜與微細(xì)技術(shù)教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室; 上海交通大學(xué)微納科學(xué)技術(shù)研究院微米/納米加工技術(shù)國(guó)家級(jí)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室薄膜與微細(xì)技術(shù)教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室 上海 【期刊】測(cè)控技術(shù) 2007-11-18

52 基于Sigma-Delta技術(shù)的差分電容檢測(cè)電路設(shè)計(jì) 萬(wàn)明亮; 張衛(wèi)平; 黃曉剛; 陳文元 上海交通大學(xué)微納科學(xué)技術(shù)研究院薄膜與微細(xì)加工教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室微米/納米加工國(guó)防實(shí)驗(yàn)室; 上海交通大學(xué)微納科學(xué)技術(shù)研究院薄膜與微細(xì)加工教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室微米/納米加工國(guó)防實(shí)驗(yàn)室; 上海交通大學(xué)微納科學(xué)技術(shù)研究院薄膜與微細(xì)加工教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室微米/納米加工國(guó)防實(shí)驗(yàn)室 上海 【期刊】電測(cè)與儀表 2007-11-25

53 基于NRF9E5射頻無(wú)線遙控系統(tǒng)的設(shè)計(jì) 左德參; 馮敏華; 陳文元; 彭松林; 曹雯 上海交通大學(xué)微納科學(xué)技術(shù)研究院 微米/納米加工技術(shù)國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室; 薄膜與微細(xì)技術(shù)教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室; 上海交通大學(xué)微納科學(xué)技術(shù)研究院; 微米/納米加工技術(shù)國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室 【期刊】微計(jì)算機(jī)信息 2007-12-15

54 基于DSP的懸浮轉(zhuǎn)子微陀螺數(shù)字幅度解調(diào) 周海軍; 黃曉剛; 張衛(wèi)平; 陳文元 上海交通大學(xué)微納科學(xué)技術(shù)研究院薄膜與微細(xì)加工教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室微米/納米加工國(guó)防實(shí)驗(yàn)室; 上海交通大學(xué)微納科學(xué)技術(shù)研究院薄膜與微細(xì)加工教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室微米/納米加工國(guó)防實(shí)驗(yàn)室; 上海交通大學(xué)微納科學(xué)技術(shù)研究院薄膜與微細(xì)加工教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室微米/納米加工國(guó)防實(shí)驗(yàn)室 上海 【期刊】傳感器與微系統(tǒng) 2007-11-20

55 電磁懸浮轉(zhuǎn)子微陀螺懸浮穩(wěn)定性分析(英文) 吳校生; 陳文元; 張衛(wèi)平; 黃曉剛; 劉武; 崔峰 上海交通大學(xué); 上海交通大學(xué); 上海交通大學(xué) 微納科學(xué)技術(shù)研究院微米納米加工技術(shù)國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室; 薄膜與微細(xì)技術(shù)國(guó)家教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室; 微納科學(xué)技術(shù)研究院微米納米加工技術(shù)國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室 【期刊】傳感技術(shù)學(xué)報(bào) 2008-01-15

56 壓電型微固體模態(tài)陀螺的模態(tài)及諧振分析 吳校生; 盧奕鵬; 陳文元 上海交通大學(xué)微納科學(xué)技術(shù)研究院微米納米加工國(guó)家級(jí)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室 【期刊】傳感技術(shù)學(xué)報(bào) 2008-12-20

57 基于微加速度計(jì)的鼠標(biāo)系統(tǒng)設(shè)計(jì) 湯堅(jiān); 陳文元; 姜曉波; 錢(qián)莉 上海交通大學(xué)微納科學(xué)技術(shù)研究院薄膜與微細(xì)技術(shù)教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室; 上海交通大學(xué)微納科學(xué)技術(shù)研究院微米/納米加工技術(shù)國(guó)家級(jí)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室 【期刊】計(jì)算機(jī)工程與設(shè)計(jì) 2008-12-16

58 靜電懸浮轉(zhuǎn)子微陀螺信號(hào)發(fā)生電路有源帶通濾波器設(shè)計(jì) 邵珰珰; 陳文元; 肖奇軍; 崔峰; 張衛(wèi)平 上海交通大學(xué)微納科學(xué)技術(shù)研究院薄膜與微細(xì)技術(shù)教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室; 微米/納米加工技術(shù)國(guó)家級(jí)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室 【期刊】傳感技術(shù)學(xué)報(bào) 2008-11-20

59 模糊控制在靜電懸浮轉(zhuǎn)子微陀螺起支中的應(yīng)用 肖奇軍; 陳文元; 崔峰; 李勝勇; 張衛(wèi)平 上海交通大學(xué)微納科學(xué)技術(shù)研究院; 廣東肇慶學(xué)院電子信息工程系 【期刊】中國(guó)慣性技術(shù)學(xué)報(bào) 2008-12-15

60 基于MEMS強(qiáng)鏈的移動(dòng)硬盤(pán)加密系統(tǒng)設(shè)計(jì)和FPGA實(shí)現(xiàn) 湯堅(jiān); 陳文元; 張衛(wèi)平; 李怡斌; 許鵬 上海交通大學(xué)微納科學(xué)技術(shù)研究院 【期刊】計(jì)算機(jī)應(yīng)用 2008-12-15

61 反磁懸浮渦流旋轉(zhuǎn)微陀螺的定子研究 劉凱; 張衛(wèi)平; 陳文元; 劉武; 李凱; 戴福彥 上海交通大學(xué)微納科學(xué)技術(shù)研究院薄膜與微細(xì)加工教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室微米/納米加工國(guó)防實(shí)驗(yàn)室 【期刊】微細(xì)加工技術(shù) 2008-12-15

62 靜電懸浮轉(zhuǎn)子微陀螺懸浮控制系統(tǒng)的研究 肖奇軍; 崔峰; 李勝勇; 陳文元; 張衛(wèi)平 上海交通大學(xué)微納科學(xué)技術(shù)研究院; 上海交通大學(xué)微納科學(xué)技術(shù)研究院; 上海交通大學(xué)微納科學(xué)技術(shù)研究院 上海; 肇慶學(xué)院電子信息工程系; 廣東肇慶 【期刊】傳感技術(shù)學(xué)報(bào) 2008-02-15

63 Pyrex玻璃金屬化凹坑的濕法腐蝕 崔峰; 肖奇軍; 吳校生; 張衛(wèi)平; 陳文元; 趙小林 上海交通大學(xué)微納科學(xué)技術(shù)研究院微米/納米加工技術(shù)國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室薄膜與微細(xì)加工技術(shù)教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室; 上海交通大學(xué)微納科學(xué)技術(shù)研究院微米/納米加工技術(shù)國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室薄膜與微細(xì)加工技術(shù)教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室; 上海交通大學(xué)微納科學(xué)技術(shù)研究院微米/納米加工技術(shù)國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室薄膜與微細(xì)加工技術(shù)教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室 上海 【期刊】功能材料與器件學(xué)報(bào) 2008-02-25

64 柔性膜式微型電磁驅(qū)動(dòng)器的設(shè)計(jì)與仿真分析 蘇宇鋒; 楊杰偉; 趙江銘; 劉武發(fā); 陳文元 鄭州大學(xué)機(jī)電一體化研究所; 上海交通大學(xué)微納米科學(xué)技術(shù)研究院 鄭州; 薄膜與微細(xì)技術(shù)教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室; 微米納米加工技術(shù)國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室 【期刊】微納電子技術(shù) 2008-06-15

65 懸浮轉(zhuǎn)子式微陀螺技術(shù)關(guān)鍵、創(chuàng)新設(shè)計(jì)和最新進(jìn)展 張衛(wèi)平; 陳文元; 趙小林; 吳校生; 崔峰; 劉武; 黃曉剛; 肖奇軍; 馬高印; 張忠榕 上海交通大學(xué)微納科學(xué)技術(shù)研究院微米/納米加工技術(shù)國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室薄膜與微細(xì)技術(shù)教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室; 上海交通大學(xué)微納科學(xué)技術(shù)研究院微米/納米加工技術(shù)國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室薄膜與微細(xì)技術(shù)教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室; 上海交通大學(xué)微納科學(xué)技術(shù)研究院微米/納米加工技術(shù)國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室薄膜與微細(xì)技術(shù)教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室 上海 【期刊】功能材料與器件學(xué)報(bào) 2008-06-25

66 基于微加速度計(jì)的AIR-MOUSE的研究 姜曉波; 陳文元; 湯堅(jiān); 錢(qián)莉; 凌靈 上海交通大學(xué)微納科學(xué)技術(shù)研究院薄膜與微細(xì)技術(shù)教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室微米/納米加工技術(shù)國(guó)家級(jí)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室; 上海交通大學(xué) 【期刊】微計(jì)算機(jī)信息 2008-08-05

67 微機(jī)械電容式加速度計(jì)的結(jié)構(gòu)及檢測(cè)技術(shù)研究 凌靈; 陳文元; 李凱; 姜曉波 上海交通大學(xué)微納科學(xué)技術(shù)研究院 【期刊】?jī)x表技術(shù)與傳感器 2008-08-15

68 一種振動(dòng)膜式雙向微型電磁驅(qū)動(dòng)器的制作工藝 蘇宇鋒; 郭丹; 劉德平; 陳文元 鄭州大學(xué)機(jī)電一體化研究所; 上海交通大學(xué)微納米科學(xué)技術(shù)研究院 【期刊】機(jī)械設(shè)計(jì)與制造 2008-09-08

69 靜電懸浮轉(zhuǎn)子微陀螺高努森數(shù)下的空氣阻尼力矩 馬高印; 陳文元; 崔峰; 張衛(wèi)平; 王立奇 上海交通大學(xué)微納科學(xué)技術(shù)研究院; 微/納加工技術(shù)國(guó)家級(jí)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室 【期刊】傳感技術(shù)學(xué)報(bào) 2008-08-15

70 雙定子靜電微電機(jī)控制系統(tǒng)的信號(hào)檢測(cè)研究 張忠榕; 劉武; 張衛(wèi)平; 陳文元 上海交通大學(xué)微納科學(xué)技術(shù)研究院薄膜與微細(xì)加工教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室微米/納米加工技術(shù)國(guó)家級(jí)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室 【期刊】傳感器與微系統(tǒng) 2008-05-20

71 基于MEMS&FPGA的USB移動(dòng)硬盤(pán)加解密系統(tǒng) 張晶; 陳文元; 張衛(wèi)平 上海交通大學(xué)微納科學(xué)技術(shù)研究院薄膜與微細(xì)技術(shù)教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室微米/納米加工技術(shù)國(guó)家級(jí)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室; 上海交通大學(xué) 【期刊】微計(jì)算機(jī)信息 2008-09-15

72 全固態(tài)微陀螺的研究進(jìn)展 吳校生; 陳文元; 崔峰 上海交通大學(xué)微納科學(xué)技術(shù)研究院; 微米/納米加工技術(shù)國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室薄膜與微細(xì)技術(shù)教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室 【期刊】電子器件 2008-10-15

73 磁懸浮轉(zhuǎn)子微陀螺及其懸浮力與穩(wěn)定性的分析 吳校生; 陳文元; 張衛(wèi)平 上海交通大學(xué)微納米科學(xué)技術(shù)研究院; 上海交通大學(xué)微納米科學(xué)技術(shù)研究院; 上海交通大學(xué)微納米科學(xué)技術(shù)研究院 上海 【期刊】傳感器技術(shù) 2003-12-20

74 基于LIGA技術(shù)的3K-2型微行星齒輪減速器的設(shè)計(jì)和制造 張衛(wèi)平; 陳文元; 陳迪; 吳校生; 陳曉梅; 徐正福 上海交通大學(xué)信息存儲(chǔ)研究中心; 上海交通大學(xué)信息存儲(chǔ)研究中心; 上海交通大學(xué)信息存儲(chǔ)研究中心 上海市 【期刊】中國(guó)機(jī)械工程 2003-03-15

75 微機(jī)電安全密碼鎖的設(shè)計(jì)技術(shù) 高楊; 文貴印; 趙小林; 陳文元; 張琛 上海交通大學(xué)微納米科學(xué)技術(shù)研究院; 中國(guó)工程物理研究院電子工程研究所; 上海交通大學(xué)微納米科學(xué)技術(shù)研究院; 上海交通大學(xué)微納米科學(xué)技術(shù)研究院 上海; 四川綿陽(yáng) 【期刊】微納電子技術(shù) 2003-08-25

76 微小機(jī)電強(qiáng)鏈中的驅(qū)動(dòng)器 張衛(wèi)平; 陳文元; 趙小林; 高揚(yáng); 吳校生 上海交通大學(xué)微納米科學(xué)技術(shù)研究院信息存儲(chǔ)研究中心; 上海交通大學(xué)微納米科學(xué)技術(shù)研究院信息存儲(chǔ)研究中心; 上海交通大學(xué)微納米科學(xué)技術(shù)研究院信息存儲(chǔ)研究中心 上海; 中國(guó)工程物理研究院電子工程研究所; 四川綿陽(yáng) 【期刊】微納電子技術(shù) 2003-08-25

77 MAX618在電磁微電機(jī)步進(jìn)驅(qū)動(dòng)中的應(yīng)用 王守亮; 陳佳品; 李振波; 高楊; 陳文元; 趙小林 上海交通大學(xué)微納米技術(shù)研究院; 上海交通大學(xué)微納米技術(shù)研究院; 中國(guó)工程物理研究院電子工程研究所; 上海交通大學(xué)微納米技術(shù)研究院 上海 【期刊】微處理機(jī) 2005-02-28

78 微機(jī)械密碼鎖鑒碼機(jī)構(gòu)的UQS機(jī)理研究及其工藝實(shí)現(xiàn) 姜勇; 陳文元; 張衛(wèi)平; 李勝勇 上海交通大學(xué)微納米科學(xué)技術(shù)研究院薄膜與微細(xì)技術(shù)教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室微米與納米加工技術(shù)國(guó)家級(jí)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室; 上海交通大學(xué)微納米科學(xué)技術(shù)研究院薄膜與微細(xì)技術(shù)教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室微米與納米加工技術(shù)國(guó)家級(jí)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室 【期刊】新技術(shù)新工藝 2005-05-25

79 基于MEMS技術(shù)的撲翼式微飛行器的研究 左德參; 陳文元; 彭松林; 李智軍; 張衛(wèi)平 上海交通大學(xué)微納科學(xué)技術(shù)研究院; 上海交通大學(xué)微納科學(xué)技術(shù)研究院; 上海交通大學(xué)微納科學(xué)技術(shù)研究院 微米/納米加工技術(shù)國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室; 薄膜與微細(xì)技術(shù)教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室上海; 微米/納米加工技術(shù)國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室 【期刊】系統(tǒng)仿真學(xué)報(bào) 2005-06-20

80 懸浮轉(zhuǎn)子式微機(jī)械陀螺儀的研究進(jìn)展 崔峰; 陳文元; 蘇宇鋒; 吳校生 上海交通大學(xué)微納米科學(xué)技術(shù)研究院微米納米加工技術(shù)國(guó)家級(jí)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室; 上海交通大學(xué)微納米科學(xué)技術(shù)研究院微米納米加工技術(shù)國(guó)家級(jí)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室; 上海交通大學(xué)微納米科學(xué)技術(shù)研究院微米納米加工技術(shù)國(guó)家級(jí)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室 上海 【期刊】壓電與聲光 2005-06-25

81 微型聚合酶反應(yīng)芯片的精確溫度控制 賈曉宇; 牛志強(qiáng); 張衛(wèi)平; 陳文元 上海交通大學(xué)微納米科學(xué)技術(shù)研究院薄膜與微細(xì)加工技術(shù)教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室; 上海交通大學(xué)微納米科學(xué)技術(shù)研究院薄膜與微細(xì)加工技術(shù)教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室 【期刊】微計(jì)算機(jī)信息 2005-04-30

82 基于玻璃-PDMS復(fù)合結(jié)構(gòu)的微型毛細(xì)管被動(dòng)閥 牛志強(qiáng); 賈曉宇; 李建華; 張衛(wèi)平; 陳文元 上海交通大學(xué)微納科學(xué)技術(shù)研究院; 上海交通大學(xué)微納科學(xué)技術(shù)研究院; 上海交通大學(xué)微納科學(xué)技術(shù)研究院 薄膜與微細(xì)技術(shù)教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室微米納米加工技術(shù)國(guó)家級(jí)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室上海; 薄膜與微細(xì)技術(shù)教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室微米納米加工技術(shù)國(guó)家級(jí)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室上海 【期刊】功能材料與器件學(xué)報(bào) 2005-09-25

83 基于MEMS技術(shù)的無(wú)線鼠標(biāo) 錢(qián)莉; 陳文元; 黃得志; 楊華峰; 張衛(wèi)平 薄膜與微細(xì)技術(shù)教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室微米/納米加工技術(shù)國(guó)家級(jí)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室上海交通大學(xué)微納科學(xué)技術(shù)研究院; 薄膜與微細(xì)技術(shù)教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室微米/納米加工技術(shù)國(guó)家級(jí)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室上海交通大學(xué)微納科學(xué)技術(shù)研究院; 薄膜與微細(xì)技術(shù)教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室微米/納米加工技術(shù)國(guó)家級(jí)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室上海交通大學(xué)微納科學(xué)技術(shù)研究院 上海 【期刊】北京電子科技學(xué)院學(xué)報(bào) 2005-12-30

84 靜電懸浮轉(zhuǎn)子微陀螺及其關(guān)鍵技術(shù) 崔峰; 蘇宇鋒; 張衛(wèi)平; 吳校生; 陳文元; 趙小林 上海交通大學(xué)微納科學(xué)技術(shù)研究院薄膜與微細(xì)技術(shù)教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室微米/納米加工技術(shù)國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室; 上海交通大學(xué)微納科學(xué)技術(shù)研究院薄膜與微細(xì)技術(shù)教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室微米/納米加工技術(shù)國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室; 上海交通大學(xué)微納科學(xué)技術(shù)研究院薄膜與微細(xì)技術(shù)教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室微米/納米加工技術(shù)國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室 上海 【期刊】中國(guó)慣性技術(shù)學(xué)報(bào) 2005-12-28

85 柔性膜微型電磁驅(qū)動(dòng)器的設(shè)計(jì)與制作工藝 蘇宇鋒; 陳文元; 陳曉梅; 張衛(wèi)平; 王偉 上海交通大學(xué)微米納米技術(shù)研究院薄膜與微細(xì)技術(shù)教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室; 上海交通大學(xué)微米納米技術(shù)研究院薄膜與微細(xì)技術(shù)教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室; 中船集團(tuán)公司726研究所 上海 【期刊】?jī)x表技術(shù)與傳感器 2005-12-25

86 動(dòng)態(tài)被動(dòng)閥微泵的設(shè)計(jì)優(yōu)化和制造 張衛(wèi)平; 陳文元; 吳校生; 陳曉梅; 徐正福 上海交通大學(xué)信息存儲(chǔ)研究中心; 上海交通大學(xué)信息存儲(chǔ)研究中心; 上海交通大學(xué)信息存儲(chǔ)研究中心 上海 【期刊】機(jī)械設(shè)計(jì)與研究 2003-04-30

87 電磁驅(qū)動(dòng)柔性振動(dòng)膜無(wú)閥微泵 蘇宇鋒; 陳文元; 崔峰 上海交通大學(xué)微米納米技術(shù)研究院薄膜與微細(xì)技術(shù)教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室微米納米加工技術(shù)國(guó)家級(jí)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室; 上海交通大學(xué)微米納米技術(shù)研究院薄膜與微細(xì)技術(shù)教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室微米納米加工技術(shù)國(guó)家級(jí)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室; 上海交通大學(xué)微米納米技術(shù)研究院薄膜與微細(xì)技術(shù)教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室微米納米加工技術(shù)國(guó)家級(jí)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室 上海 【期刊】微細(xì)加工技術(shù) 2003-12-30

88 電磁微電機(jī)的設(shè)計(jì)與制造技術(shù) 高楊; 趙小林; 陳文元; 張琛 中國(guó)工程物理研究院電子工程研究所; 上海交通大學(xué)微納米科學(xué)技術(shù)研究院; 上海交通大學(xué)微納米科學(xué)技術(shù)研究院; 上海交通大學(xué)微納米科學(xué)技術(shù)研究院 四川綿陽(yáng) 【期刊】信息與電子工程 2003-09-30

89 基于電磁微電機(jī)的密碼鎖控制系統(tǒng)研制 陳松 ; 陳佳品 ; 李振波 ; 陳文元 ; 趙小林 上海交通大學(xué)信息存儲(chǔ)中心; 上海交通大學(xué)信息存儲(chǔ)中心 【期刊】電子技術(shù) 2003-10-12

90 基于AT90S8515的微密碼鎖的微馬達(dá)測(cè)試系統(tǒng) 樊曉霞 ; 陳佳品; 李振波; 陳文元; 趙小林 上海交通大學(xué)微納米科學(xué)技術(shù)研究院; 上海交通大學(xué)微納米科學(xué)技術(shù)研究院; 上海交通大學(xué)微納米科學(xué)技術(shù)研究院 上海 【期刊】測(cè)控技術(shù) 2004-02-18

91 微馬達(dá)在微機(jī)械密碼鎖中的控制 樊曉霞; 陳佳品; 李振波; 陳文元; 趙小林 上海交通大學(xué)微納米科學(xué)技術(shù)研究院; 上海交通大學(xué)微納米科學(xué)技術(shù)研究院; 上海交通大學(xué)微納米科學(xué)技術(shù)研究院 上海 【期刊】計(jì)算機(jī)工程 2004-04-05

92 磁懸浮轉(zhuǎn)子微陀螺的微細(xì)加工工藝研究 吳校生; 陳文元; 趙小林; 張衛(wèi)平; 何淼 上海交通大學(xué)微納米科學(xué)技術(shù)研究院薄膜與微細(xì)技術(shù)教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室微米納米加工技術(shù)國(guó)家級(jí)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室; 上海交通大學(xué)微納米科學(xué)技術(shù)研究院薄膜與微細(xì)技術(shù)教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室微米納米加工技術(shù)國(guó)家級(jí)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室; 上海交通大學(xué)微納米科學(xué)技術(shù)研究院薄膜與微細(xì)技術(shù)教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室微米納米加工技術(shù)國(guó)家級(jí)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室 上海 【期刊】微細(xì)加工技術(shù) 2004-03-30

93 磁懸浮轉(zhuǎn)子微陀螺中轉(zhuǎn)子微加工方法的研究 何淼; 吳校生; 陳文元; 張衛(wèi)平 上海交通大學(xué)微納米科學(xué)技術(shù)研究院; 上海交通大學(xué)微納米科學(xué)技術(shù)研究院; 上海交通大學(xué)微納米科學(xué)技術(shù)研究院 上海 【期刊】機(jī)械設(shè)計(jì)與研究 2004-06-30

94 一種高分子聚合物PCR芯片的設(shè)計(jì)及有限元分析 牛志強(qiáng); 賈曉宇; 張衛(wèi)平; 李建華; 陳文元 上海交通大學(xué)微米納米技術(shù)研究院薄膜與微細(xì)技術(shù)教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室微米納米加工技術(shù)國(guó)家級(jí)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室; 上海交通大學(xué)微米納米技術(shù)研究院薄膜與微細(xì)技術(shù)教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室微米納米加工技術(shù)國(guó)家級(jí)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室; 上海交通大學(xué)微米納米技術(shù)研究院薄膜與微細(xì)技術(shù)教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室微米納米加工技術(shù)國(guó)家級(jí)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室 上海 【期刊】微細(xì)加工技術(shù) 2004-09-30

95 基于MEMS的微泵研究進(jìn)展 蘇宇鋒; 陳文元 上海交通大學(xué)微米納米技術(shù)研究院薄膜與微細(xì)技術(shù)教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室; 上海交通大學(xué)微米納米技術(shù)研究院薄膜與微細(xì)技術(shù)教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室 微米納米加工技術(shù)國(guó)家級(jí)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室; 微米納米加工技術(shù)國(guó)家級(jí)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室 【期刊】微納電子技術(shù) 2004-05-15

96 一種用于同步輻射光束線上的壓彎?rùn)C(jī)構(gòu)的設(shè)計(jì)與試驗(yàn) 王俊杰; 陳文元; 張衛(wèi)平; 姜勇; 劉鵬; 盛偉繁; 胡天斗 上海交通大學(xué)薄膜與微細(xì)技術(shù)教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室; 上海交通大學(xué)薄膜與微細(xì)技術(shù)教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室; 中國(guó)科學(xué)院高能物理研究所; 中國(guó)科學(xué)院高能物理研究所 微米/納米加工技術(shù)國(guó)家級(jí)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室; 微米/納米加工技術(shù)國(guó)家級(jí)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室 【期刊】機(jī)械設(shè)計(jì)與研究 2004-12-30

97 微通道式PCR芯片溫度的研究 賈曉宇; 牛志強(qiáng); 陳文元; 張衛(wèi)平 上海交通大學(xué)微納米科學(xué)技術(shù)研究院薄膜與微細(xì)加工技術(shù)教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室; 上海交通大學(xué)微納米科學(xué)技術(shù)研究院薄膜與微細(xì)加工技術(shù)教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室; 上海交通大學(xué)微納米科學(xué)技術(shù)研究院薄膜與微細(xì)加工技術(shù)教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室 上海 【期刊】微細(xì)加工技術(shù) 2004-12-30

98 基于Parylene薄膜的微型電磁驅(qū)動(dòng)器的設(shè)計(jì)與工藝 蘇宇鋒; 陳文元 上海交通大學(xué)微米、納米技術(shù)研究院薄膜與微細(xì)技術(shù)教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室微米納米加工技術(shù)國(guó)家級(jí)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室; 上海交通大學(xué)微米、納米技術(shù)研究院薄膜與微細(xì)技術(shù)教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室微米納米加工技術(shù)國(guó)家級(jí)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室 【期刊】機(jī)械制造 2004-12-20

99 磁懸浮轉(zhuǎn)子微陀螺懸浮線圈的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì) 吳校生; 陳文元; 趙小林; 李振波; 張衛(wèi)平; 崔峰; 何淼 上海交通大學(xué)微納米科學(xué)技術(shù)研究院薄膜與微細(xì)加工技術(shù)教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室; 上海交通大學(xué)微納米科學(xué)技術(shù)研究院薄膜與微細(xì)加工技術(shù)教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室; 上海交通大學(xué)微納米科學(xué)技術(shù)研究院薄膜與微細(xì)加工技術(shù)教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室 上海 【期刊】上海交通大學(xué)學(xué)報(bào) 2005-01-30

100 PKI技術(shù)及其存在問(wèn)題的分析 李勝勇; 陳文元; 張衛(wèi)平 上海交通大學(xué)微納米科學(xué)技術(shù)研究院; 上海交通大學(xué)微納米科學(xué)技術(shù)研究院 【期刊】微計(jì)算機(jī)信息 2005-01-10

101 多層復(fù)雜結(jié)構(gòu)準(zhǔn)LIGA一體化加工工藝的研究 姜勇; 陳文元; 趙小林; 丁桂甫; 倪志萍; 王志民 上海交通大學(xué)微納米科學(xué)技術(shù)研究院薄膜與微細(xì)技術(shù)教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室微米與納米加工技術(shù)國(guó)家級(jí)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室; 上海交通大學(xué)微納米科學(xué)技術(shù)研究院薄膜與微細(xì)技術(shù)教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室微米與納米加工技術(shù)國(guó)家級(jí)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室; 上海交通大學(xué)微納米科學(xué)技術(shù)研究院薄膜與微細(xì)技術(shù)教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室微米與納米加工技術(shù)國(guó)家級(jí)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室 上海 【期刊】微細(xì)加工技術(shù) 2005-03-30

102 一種新型電磁驅(qū)動(dòng)微泵的設(shè)計(jì)與制作工藝 蘇宇鋒 ; 陳文元 ; 崔峰 上海交通大學(xué)微米納米技術(shù)研究院; 上海交通大學(xué)微米納米技術(shù)研究院 【期刊】新技術(shù)新工藝 2005-02-25

103 BSRF1W1B-XAFS光束線研制 謝亞寧; 胡天斗; 劉濤; 張靜; 陳文元; 張衛(wèi)平; 高雪官 中國(guó)科學(xué)院高能物理研究所同步輻射室; 上海交通大學(xué)微納米科學(xué)技術(shù)研究院; 上海交通大學(xué)微納米科學(xué)技術(shù)研究院; 上海交通大學(xué)機(jī)械工程與動(dòng)力學(xué)院 北京 【期刊】核技術(shù) 2004-12-15

104 生物大分子晶體學(xué)光束線準(zhǔn)直鏡、聚焦鏡系統(tǒng)的設(shè)計(jì) 張衛(wèi)平; 陳文元; 吳校生; 陳曉梅; 盛偉繁; 劉鵬; 胡天斗 上海交通大學(xué)信息存儲(chǔ)研究中心; 上海交通大學(xué)信息存儲(chǔ)研究中心; 中國(guó)科學(xué)院北京高能物理研究所; 中國(guó)科學(xué)院北京高能物理研究所 上海 【期刊】機(jī)械設(shè)計(jì)與研究 2002-10-30

105 微機(jī)械密碼鎖中的鑒碼器機(jī)構(gòu) 龐軍玲; 陳文元 上海交通大學(xué)微納米科學(xué)技術(shù)研究院; 上海交通大學(xué)微納米科學(xué)技術(shù)研究院 上海 【期刊】機(jī)械設(shè)計(jì)與研究 2002-12-30

106 公文審批數(shù)據(jù)庫(kù)的制作 李世峰; 李玉東; 陳文元; 丁濤 上海交通大學(xué)信息存儲(chǔ)研究中心; 上海索源系統(tǒng)有限公司 【期刊】微型電腦應(yīng)用 1999-03-30

107 微行星齒輪減速器的計(jì)算機(jī)輔助建模和仿真的研究 張衛(wèi)平; 陳文元; 丁濤; 李世峰 上海交通大學(xué)信息存儲(chǔ)研究中心; 上海交通大學(xué)信息存儲(chǔ)研究中心 【期刊】微型電腦應(yīng)用 1999-05-30

108 基于公共網(wǎng)絡(luò)的虛擬專(zhuān)用網(wǎng)探析 范志榮; 陳文元; 張衛(wèi)平 上海交通大學(xué)信息存儲(chǔ)研究中心國(guó)家教委薄膜與微細(xì)技術(shù)部門(mén)開(kāi)放實(shí)驗(yàn)室; 上海交通大學(xué)信息存儲(chǔ)研究中心國(guó)家教委薄膜與微細(xì)技術(shù)部門(mén)開(kāi)放實(shí)驗(yàn)室 【期刊】計(jì)算機(jī)應(yīng)用研究 2000-03-28

109 模數(shù)≤0.06mm的微行星齒輪減速器的CAD/CAM技術(shù) 張衛(wèi)平; 陳文元; 范志榮; 徐正福 上海交通大學(xué)信息存儲(chǔ)研究中心薄膜與微細(xì)加工國(guó)家教委開(kāi)放實(shí)驗(yàn)室; 上海交通大學(xué)信息存儲(chǔ)研究中心薄膜與微細(xì)加工國(guó)家教委開(kāi)放實(shí)驗(yàn)室; 上海交通大學(xué)信息存儲(chǔ)研究中心薄膜與微細(xì)? 【期刊】機(jī)械設(shè)計(jì) 2000-12-20

110 微3K-2型行星齒輪減速器中微齒輪嚙合模型和參數(shù)計(jì)算 陳文元; 張衛(wèi)平; 范志榮 上海交通大學(xué)信息存儲(chǔ)研究中心; 上海交通大學(xué)信息存儲(chǔ)研究中心 【期刊】上海交通大學(xué)學(xué)報(bào) 2000-03-30

111 LIGA技術(shù)制造微齒輪中X光掩模板圖形的CAD設(shè)計(jì) 陳文元; 張衛(wèi)平; 周迪; 范志榮 上海交通大學(xué)信息存儲(chǔ)研究中心; 上海交通大學(xué)信息存儲(chǔ)研究中心 【期刊】微細(xì)加工技術(shù) 2000-03-30

112 基于多協(xié)議標(biāo)記交換的虛擬專(zhuān)用網(wǎng) 徐正福; 陳文元; 張衛(wèi)平 上海交通大學(xué)信息存儲(chǔ)研究中心; 上海交通大學(xué)信息存儲(chǔ)研究中心 【期刊】電子工程師 2001-08-30

113 多協(xié)議標(biāo)記交換(MPLS)中的QoS 徐正福; 陳文元; 張衛(wèi)平 上海交通大學(xué)信息存儲(chǔ)研究中心; 上海交通大學(xué)信息存儲(chǔ)研究中心; 上海交通大學(xué)信息存儲(chǔ)研究中心 上海 【期刊】通信技術(shù) 2001-07-30

114 懸浮轉(zhuǎn)子式MEMS微陀螺的研究概況 陳文元; 崔峰; 吳校生; 張衛(wèi)平 上海交通大學(xué)微納米科學(xué)技術(shù)研究院; 上海交通大學(xué)微納米科學(xué)技術(shù)研究院 【會(huì)議】2006年船舶通訊導(dǎo)航學(xué)術(shù)會(huì)議論文集 2006-11-01

115 基于NRF9E5射頻無(wú)線遙控系統(tǒng)的設(shè)計(jì) 左德參; 馮敏華; 彭松林; 曹雯; 陳文元 上海交通大學(xué)微納科學(xué)技術(shù)研究院微米/納米加工技術(shù)國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室; 薄膜與微細(xì)技術(shù)教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室; 上海交通大學(xué)微納科學(xué)技術(shù)研究院微米/納米加工技術(shù)國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室 【會(huì)議】2006年全國(guó)電子機(jī)械和微波結(jié)構(gòu)工藝學(xué)術(shù)會(huì)議論文集 2006-11-01

榮譽(yù)獎(jiǎng)勵(lì)：

曾獲上海市振興一等獎(jiǎng)，科技進(jìn)步三等獎(jiǎng)，國(guó)家教委科技進(jìn)步一、二等獎(jiǎng)。

1989年獲北京國(guó)際博覽會(huì)金獎(jiǎng)。

1990年獲上海市科技結(jié)合生產(chǎn)振興一等獎(jiǎng)。

1992年獲上海市科技進(jìn)步三等獎(jiǎng)。

1998年獲國(guó)家教委科技進(jìn)步二等獎(jiǎng)。

1999年獲國(guó)家教育部科技進(jìn)步一等獎(jiǎng)。

2000年獲國(guó)家科技發(fā)明二等獎(jiǎng)。

資料更新中……

媒體報(bào)道：

見(jiàn)“微”知“著”

–––記國(guó)家技術(shù)發(fā)明二等獎(jiǎng)獲得者、微納研究院陳文元教授

一項(xiàng)科研成果擁有40項(xiàng)發(fā)明專(zhuān)利、專(zhuān)利數(shù)目居300多個(gè)國(guó)家科技獎(jiǎng)獲獎(jiǎng)項(xiàng)目之首；一個(gè)人申請(qǐng)了80多項(xiàng)發(fā)明專(zhuān)利、其中已授權(quán)30多項(xiàng)、被譽(yù)為“發(fā)明家”。這就是我校獲得 2008年國(guó)家技術(shù)發(fā)明二等獎(jiǎng)的項(xiàng)目“非硅MEMS技術(shù)及其應(yīng)用”，和項(xiàng)目的第一完成人、我校微納科學(xué)技術(shù)研究院陳文元教授。

MEMS：高科技離我們并不遙遠(yuǎn)

MEMS是微電子機(jī)械系統(tǒng)的英文縮寫(xiě)，從集成電路發(fā)展而來(lái)，把傳感器、執(zhí)行器、微電子線路集成在一起，完成一定的功能。它首先從硅基MEMS開(kāi)始，但非硅材料眾多，包括各種金屬、聚合物、壓電陶瓷等，有不同特性，可滿足不同需求。非硅MEMS技術(shù)是硅基MEMS技術(shù)的補(bǔ)充和發(fā)展。

聽(tīng)起來(lái)有些生僻的“MEMS技術(shù)”其實(shí)與我們的生活關(guān)系密切：照相機(jī)中的防震設(shè)置、手機(jī)中的隱匿天線、汽車(chē)撞車(chē)后氣囊彈出傳感器，都是MEMS技術(shù)在日常生活中的典型應(yīng)用。

陳文元和所在團(tuán)隊(duì)，在國(guó)家863計(jì)劃等項(xiàng)目支持下，通過(guò)自主創(chuàng)新和發(fā)明，在三維非硅MEMS-微加工新技術(shù)、非硅微執(zhí)行器、基于非硅微加工技術(shù)的集成微流控聚合物生化芯片、基于非硅微加工技術(shù)的微光器件、非硅電磁型微系統(tǒng)等方面取得了一系列成果，這些成果奠定了非硅MEMS技術(shù)的基礎(chǔ)，具有完全知識(shí)產(chǎn)權(quán)，項(xiàng)目總體達(dá)到國(guó)際先進(jìn)、國(guó)內(nèi)領(lǐng)先水平，從加工技術(shù)到微器件，從研究到應(yīng)用，成為一個(gè)完整的非硅MEMS技術(shù)體系。

基于非硅微加工技術(shù)的集成微流控聚合物生化芯片，被稱(chēng)為“片上實(shí)驗(yàn)室”、“在線化學(xué)放大器”，通過(guò)在玻璃和其他材料，合成生物檢驗(yàn)的芯片，能快速低成本地完成生化試驗(yàn)。

基于非硅微加工和電磁型微馬達(dá)技術(shù)發(fā)明的“MEMS-強(qiáng)鏈”，是一種涉及國(guó)防安全的強(qiáng)對(duì)抗性、高可靠性的保險(xiǎn)裝置，它通過(guò)由微驅(qū)動(dòng)器驅(qū)動(dòng)的鑒碼輪系和信息能量耦合系統(tǒng)，形成“硬”的物理屏障，實(shí)現(xiàn)“對(duì)合法用戶是開(kāi)放的，對(duì)非法用戶入侵系統(tǒng)是關(guān)閉的”功能�？捎糜谖淦餮b備，彈藥庫(kù)，機(jī)要部門(mén)，政府機(jī)關(guān)，銀行，金融等部門(mén)的信息安保系統(tǒng)。想給您的電腦、硬盤(pán)加一個(gè)只有您自己能打開(kāi)的“超級(jí)密碼鎖”？“MEMS-強(qiáng)鏈”技術(shù)上已經(jīng)實(shí)現(xiàn)。

2個(gè)“八年抗戰(zhàn)”，贏得2次國(guó)家科技獎(jiǎng)

陳文元教授已經(jīng)是第二次獲得國(guó)家科技發(fā)明獎(jiǎng)了。2000年，他參加的“實(shí)用電磁微馬達(dá)關(guān)鍵技術(shù)研究項(xiàng)目”已經(jīng)獲得了MEMS領(lǐng)域的第一個(gè)國(guó)家科技獎(jiǎng)。陳文元和很多人一樣依然記得：1999年，依據(jù)他們發(fā)明的微馬達(dá)制作的翼展18毫米的小飛機(jī)，作為上海建國(guó)50周年的獻(xiàn)禮在北京展出引起轟動(dòng)，包括時(shí)任國(guó)家主席的江澤民學(xué)長(zhǎng)在內(nèi)的多位國(guó)家領(lǐng)導(dǎo)人都來(lái)參觀。但是，人們不知道的是，從微馬達(dá)的研究到應(yīng)用于能夠表演的小飛機(jī)，陳文元和同事們?cè)趯?shí)驗(yàn)室里做了8年。巧的是，又用了8年時(shí)間，再次獲得了國(guó)家科技發(fā)明獎(jiǎng)，陳文元教授戲稱(chēng)：“正好兩個(gè)八年抗戰(zhàn)�！�

剛開(kāi)始做科研的時(shí)候，缺少資金的支持，也沒(méi)有明確的方向�！白铋_(kāi)始只有6萬(wàn)元經(jīng)費(fèi)�！钡�是大家沒(méi)有放棄，也沒(méi)有動(dòng)搖，咬著牙堅(jiān)持走過(guò)了最初的困難階段。“搞科研不能急功近利，要耐得住寂寞�！标愇脑�經(jīng)常這樣對(duì)團(tuán)隊(duì)中的師生講述所謂的成功經(jīng)驗(yàn)：“特別是高新科技領(lǐng)域內(nèi)，特別要踏踏實(shí)實(shí)，沒(méi)有捷徑可走，只能厚積薄發(fā)�！币�?yàn)閮纱潍@得國(guó)家科技獎(jiǎng)，大家稱(chēng)陳文元為“獲獎(jiǎng)專(zhuān)業(yè)戶”。殊不知，“獲獎(jiǎng)專(zhuān)業(yè)戶”首先是“吃苦專(zhuān)業(yè)戶”、“碰壁專(zhuān)業(yè)戶”，不怕吃苦，不怕碰壁，按照認(rèn)定的方向堅(jiān)持到底，才“吹盡黃沙始得金”。

30余項(xiàng)專(zhuān)利，贏得“發(fā)明家”美稱(chēng)

本年度的國(guó)家科技大獎(jiǎng)發(fā)明專(zhuān)利數(shù)目激增，300余個(gè)獲獎(jiǎng)項(xiàng)目共擁有發(fā)明專(zhuān)利840項(xiàng)，成為我國(guó)原始創(chuàng)新能力提升的標(biāo)志性數(shù)據(jù)，“非硅MEMS技術(shù)及其應(yīng)用”成為其中的代表性項(xiàng)目，共申請(qǐng)了70多項(xiàng)專(zhuān)利，到去年申報(bào)時(shí)就已經(jīng)獲得授權(quán)40項(xiàng)，其中陳文元貢獻(xiàn)18項(xiàng)。目前，陳文元本人申請(qǐng)的專(zhuān)利已達(dá)80余項(xiàng)，已獲授權(quán)30余項(xiàng)，享有“發(fā)明家”的美譽(yù)。

“當(dāng)然，僅僅能吃苦是不夠的，我也有一點(diǎn)‘秘訣’”陳文元教授忽然露出些許“神秘的笑容”–––“那就是要找準(zhǔn)方向�！痹瓉�(lái)，嚴(yán)謹(jǐn)?shù)目茖W(xué)家也有幽默風(fēng)趣的時(shí)候。

MEMS是硅微加工技術(shù)發(fā)展起來(lái)的，可是，硅比較脆，在惡劣的外部環(huán)境條件下比較容易受到影響。在研究的過(guò)程中，陳文元及其團(tuán)隊(duì)逐漸產(chǎn)生了新的想法。

1989年美國(guó)鹽湖城的一次會(huì)議上，MEMS的概念首次被提出來(lái)了。在上世紀(jì)90年代初，陳文元及其團(tuán)隊(duì)根據(jù)非硅材料特點(diǎn)和自己的研究基礎(chǔ)，確定了非硅MEMS的研究方向。好的開(kāi)始是成功的一半，因?yàn)檎覍?duì)了方向，也因?yàn)樵趪?guó)內(nèi)起步最早，陳文元和他的團(tuán)隊(duì)對(duì)非硅MEMS研究越來(lái)越深入、系統(tǒng)和全面，形成了比較完整的非硅MEMS研究體系。“九五”后期，國(guó)家相關(guān)計(jì)劃將非硅 MEMS技術(shù)列為重點(diǎn)發(fā)展方向之一。在國(guó)家的大力支持下，2000年，電磁型微馬達(dá)項(xiàng)目獲得了國(guó)家技術(shù)發(fā)明二等獎(jiǎng)，成為MEMS領(lǐng)域內(nèi)的第一個(gè)國(guó)家獎(jiǎng)。在這個(gè)方向上，僅2006年微納研究院就拿到了6個(gè)國(guó)家863項(xiàng)目，我校在非硅MEMS領(lǐng)域內(nèi)的研究水平和科研實(shí)力，已經(jīng)得到了國(guó)家和社會(huì)的確認(rèn)。

“目標(biāo)是在做的過(guò)程中逐漸明確的。重要的是找準(zhǔn)方向，更重要的是堅(jiān)持到底�！报C––陳文元這樣鼓勵(lì)別人，其實(shí)也是在這樣鼓勵(lì)自己。

“我們要把樣品發(fā)展成為產(chǎn)品，否則發(fā)明有什么意義？”已經(jīng)獲得了兩個(gè)國(guó)家科技獎(jiǎng)，但陳文元顯然并沒(méi)有滿意，因?yàn)椤斑�沒(méi)有達(dá)到預(yù)想的目標(biāo)，產(chǎn)生理想的經(jīng)濟(jì)效益”�！拔覀円�更努力把技術(shù)搞得更好，我相信，通過(guò)若干年的努力，MEMS的大規(guī)模產(chǎn)業(yè)化一定會(huì)到來(lái)。”陳文元對(duì)此深信不疑。

從1989年到現(xiàn)在，非硅MEMS-的發(fā)展不過(guò)二十年，但發(fā)展的速度十分驚人，為了和國(guó)際先進(jìn)水平保持同步，陳文元及其團(tuán)隊(duì)依然在努力。他們知道，得益于材料種類(lèi)的廣泛多樣性，非硅MEMS技術(shù)擁有非常廣闊的發(fā)展空間�！敖梃b硅基MEMS技術(shù)發(fā)展的經(jīng)驗(yàn)，充分利用材料、機(jī)械、電子等交叉學(xué)科優(yōu)勢(shì)，繼續(xù)發(fā)揮原創(chuàng)和集成創(chuàng)新，非硅MEMS技術(shù)的發(fā)展和應(yīng)用前景將不可限量”。陳文元對(duì)此充滿信心。

微納研究院陳文元團(tuán)隊(duì)的科研成果

來(lái)源：《上海交通大學(xué)新聞網(wǎng)》2009年02月20日