傳感技術(shù)聯(lián)合國家重點實驗室(以下簡稱實驗室)于1987年成立,1989年通過驗收后正式對外開放,于1993年、1997年和2002年三次通過國家評估。實驗室由南北兩個基地及四個專業(yè)點組成,南方依托單位為上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所,兩個專業(yè)點分別在上海技術(shù)物理研究所、合肥智能機械研究所,北方依托單位為電子學研究所,兩個專業(yè)點分別在半導體研究所和微生物研究所,F(xiàn)任實驗室主任為楊根慶研究員;學術(shù)委員會主任為朱敏慧研究員。
實驗室性質(zhì)屬應用基礎研究,南方各單位主要側(cè)重物理量器件及其相關(guān)技術(shù)研究,北方各單位主要側(cè)重化學量器件及其相關(guān)技術(shù)研究。
實驗室主要學術(shù)方向是以微電子技術(shù)和微機械加工技術(shù)為基礎的微傳感器及微系統(tǒng)研究,其主要研究內(nèi)容為:(1)基礎研究:為微米尺度力學、光學、熱學與材料特性以及真空微電子學研究;(2)制備技術(shù)研究:MEMS加工技術(shù)研究;(3)新型器件研究:新型傳感器原理及器件研究;(4)系統(tǒng)技術(shù)研究:集成化微系統(tǒng)設計、微型化技術(shù)及系統(tǒng)集成、封裝和系統(tǒng)測試等研究。 實驗室建設至今15年來,先后主持國家攀登B計劃項目及“973”計劃,以及“七五”至“十五”國家攻關(guān)項目,開展了微電子機械系統(tǒng)(MEMS)加工技術(shù)及器件研究,如在國內(nèi)首次研制成功微型靜電晃動馬達、微型諧振子、壓阻型微陀螺,高沖擊加速度傳感器,高精度諧振壓力傳感器,真空微電子壓力傳感器以及微機械紅外熱堆陣列等器件,近幾年在微米尺度光學器件、微米尺度動力學、微摩擦機理、微米尺度的材料特性等方面做出了創(chuàng)新性的工作。特別是為國家的氣象衛(wèi)星系列、海洋衛(wèi)星、神州飛船有效載荷提供了全部碲鎘汞紅外傳感器或焦平面組件,圖象質(zhì)量已達到國際先進水平。實驗室歷年來研制的鉑薄膜電阻溫度傳感器、厚膜壓力傳感器、離子敏場效應管生物傳感器、表面等離子體諧振測試儀、高溫壓力傳感器等系統(tǒng)均已產(chǎn)品化或已技術(shù)轉(zhuǎn)讓。實驗室還在航天器微型化技術(shù)等方面為國家重大戰(zhàn)略工程提供技術(shù)論證報告,開展相關(guān)研究。
近年來實驗室共獲國家科技進步一等獎等國家級和省部級獎項10多項,在國際和國內(nèi)核心刊物上發(fā)表學術(shù)論文300多篇,授權(quán)發(fā)明專利7項,并多次在國際會議上作特邀報告。
實驗室現(xiàn)有固定人員40人,其中有方家熊院士,王躍林博士、夏善紅博士等博士生導師15名,研究員26名。有博士后6人,在讀博士生18人,碩士生35人。
為了與世界傳感技術(shù)發(fā)展同步,根據(jù)現(xiàn)有基礎,實驗室下一步要針對國家需求和學科前沿,以微科學和微技術(shù)為基礎,開展微傳感器、微執(zhí)行器及微系統(tǒng)創(chuàng)新性研究;在隊伍建設上要引進和培養(yǎng)優(yōu)秀人才,更多地加強與國內(nèi)外單位的合作研究;在研究上要集中力量予以突破,取得重大成果;對已在推廣應用的項目及課題,要加大投入,取得更大效益。
地 址:上海市長寧路865號
郵政編碼:200050
電 話:021-62511070
實驗室編號: 1987DA173085 建設年份: 1987 實驗室名稱: 傳感技術(shù)聯(lián)合國家重點實驗室 驗收年份: 1989 實驗室曾用名: 傳感技術(shù)國家重點實驗室 依托單位: 中科院上海微系統(tǒng)與信息所 電子學所 主 管部 門: 中國科學院 所在地區(qū): 上海 學 科領 域: 信息 網(wǎng) 址: http://www.sim.ac.cn/
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